国家/地区 世界知识产权组织(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4)
IPC C23C016/02(2) C30B029/36(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2022(2)
申请年 2021(4)
专利权人