国家/地区 |
世界知识产权组织(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C23(4)![]() |
IPC小类 |
C23C(4)![]() |
IPC |
C23C016/02(2)
C30B029/36(2)
H01L021/02(2)
|
发明人 | |
公开年 | 2022(2) |
申请年 |
2021(4)![]() |
专利权人 |
RAO R M S, JUVAID M M, SARKAR S, VENKATESAN T
NORIYUKI M, TAKUJI M, MITSURU M, TAKAYASU O