国家/地区 中国(5) 美国(5) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 韩国(3) 台湾(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) C01B(5) B08B(2)
B32B(2) B82B(2) B82Y(2)
C04B(2) C30B(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(6)
发明人
公开年 2015(6)
申请年 2014(3)  2013(2) 
专利权人