国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B031/04(5) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
C01B021/064(2) C01B032/182(2) C03C017/22(2)
C04B041/85(2) C23C016/56(2) H01L021/02(2)
H01L021/20(2)
发明人
公开年
申请年
专利权人