国家/地区 美国(34)
IPC部 C(34)
IPC大类 C01(34)
IPC小类 C01B(34)
IPC C01B031/04(30) C23C016/26(26) C01B032/186(12)
C23C016/02(8) B82Y040/00(6) C01B031/02(6)
C01B032/194(6) C23C014/06(6) C23C014/34(6)
C23C016/455(6) B82Y030/00(5) C01B032/182(5)
C23C016/01(5) C23C016/50(5) H01L021/02(5)
发明人 KIM H(2) LEE S(2) LEE S J(2)
PARK S(2)
公开年 2016(34)
申请年 2015(18)  2016(11)  2014(5) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) KOREA INST S.(2) SNU R DB FO.(2) UNIV SEOUL N.(2)

MOON J, PARK W, PARK S, JO I, HONG B, SAN MOON J, SU C I, BAE P W, BEOM P S, HUI H B, ZHENSHAN W, WONBAE P, SUBEOM P, INSU J, BYUNGHEE H