国家/地区 中国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7) B82Y(3) C25B(3)
C25D(3) H01L(2)
IPC C23C016/26(7)
发明人
公开年 2021(7)
申请年 2021(6) 
专利权人