| 国家/地区 | 中国(3) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | C(4) |
| IPC大类 |
C23(4)
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| IPC小类 |
C23C(4)
C30B(4)
C01B(2)
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| IPC |
C23C016/02(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2021(3) |
| 申请年 |
2020(4)
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| 专利权人 |
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
LEE C, SHIN H, HONG S, MA K, LEE C S, SUK S H, SHIN H J, LI C, SHEN X
