国家/地区 德国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6) D01F(6) H01L(3)
H01M(3)
IPC D01F009/12(6)
发明人 YANAGISAWA T(3) HIGAI S(2) HIGAKI G C C(2)
HIGAKI S(2) HIGAKI S G C C(2) YANAGISAWA G C C(2)
YANAGISAWA T G C C(2)
公开年 2003(2)
申请年 2002(3) 
专利权人 GSI CREOS CO.(3)