国家/地区 中国(6) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 韩国(3) 美国(3) 澳大利亚(2) 加拿大(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 B01(7)
IPC小类 B01D(7)
IPC C23C016/26(7)
发明人 CHOI K(2) HEIGHT M(2) PARK H(2)
PARK H G(2)
公开年 2017(2) 2021(2)
申请年 2020(2) 
专利权人 HEIQ MATERIA.(2)