国家/地区 韩国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B01(5)
IPC小类 B01J(5)
IPC C01B031/02(5) C01B031/04(5) C23C016/26(3)
B01J019/12(2) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C01B032/186(2) C23C016/02(2) H01J037/32(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2014(4)
申请年 2013(5)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2) UNIV SUNGKYU.(2)