国家/地区 美国(11)
IPC部 B(11)
IPC大类 B01(11)
IPC小类 B01J(11)
IPC C01B032/18(11)
发明人 MATSUMOTO T(2)
公开年 2015(3) 2021(2)
申请年 2014(3)  2015(2)  2021(2) 
专利权人 TOKYO ELECTR.(2)