国家/地区 美国(4) 韩国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 B01(6)
IPC小类 B01J(6)
IPC B82Y030/00(5) B82Y040/00(5) C01B031/02(5)
B01J019/08(4) C01B031/04(3) C23C016/26(3)
B01J019/12(2) H01B001/04(2) H01L021/268(2)
H01L029/66(2)
发明人 CHOI I(2) CHOI I S(2) LEE K(2)
LEE K J(2)
公开年 2012(4) 2011(2)
申请年 2011(6)
专利权人 KOREA ADV IN.(2)