国家/地区 中国(6) 美国(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 B08(7)
IPC小类 B08B(7)
IPC C23C016/26(4) B08B003/08(3) B08B003/12(2)
B08B007/00(2) C23C016/02(2)
发明人 LIU Z(2)
公开年 2015(2) 2019(2)
申请年 2014(2)  2018(2) 
专利权人