国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B32(5)![]() |
IPC小类 |
B32B(5)![]() |
IPC |
B32B009/00(3)
B32B038/10(3)
C01B032/186(3)
C23C016/26(3) B32B009/04(2) B32B037/00(2) C01B031/04(2) C01B032/194(2) H01L029/16(2) |
发明人 | |
公开年 | 2017(4) |
申请年 |
2016(5)![]() |
专利权人 |
PARK H G, HEIGHT M, CHOI K, PARK H
JOHNSON B Y, LIU X, MAZUMDER P
VEERASAMY V S, VEERASAMY V