国家/地区 美国(6) 世界知识产权组织(5) 中国(3) 韩国(3) 台湾(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 B(9)
IPC大类 B32(9)
IPC小类 B32B(9)
IPC C01B031/04(6) C23C016/26(5) B32B009/00(4)
B32B018/00(4) C01B032/186(3) B32B009/04(2)
B32B015/04(2) B32B037/00(2) C01B032/194(2)
C23C014/06(2) C23C016/50(2) H01L021/683(2)
发明人
公开年 2016(9)
申请年 2015(9)
专利权人