国家/地区 |
韩国(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B32(5)![]() |
IPC小类 |
B32B(5)![]() |
IPC |
B32B009/00(4)
B32B009/04(3)
C23C016/26(3)
C23C014/34(2) H01L029/16(2) |
发明人 | |
公开年 | 2016(2) 2017(2) |
申请年 |
2016(5)![]() |
专利权人 |
KIM M J, SEO T H, LEE S, KIM S M, AHN S, BAE S, SON D I
PARK H G, HEIGHT M, CHOI K, PARK H