国家/地区 韩国(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 B32(7)
IPC小类 B32B(7)
IPC C01B031/02(6) C23C016/26(6) B82Y030/00(5)
B82Y040/00(5) C01B031/04(5) B32B009/00(3)
C01B032/186(3) B82B003/00(2) H01L021/02(2)
H01L021/205(2) H01L021/31(2)
发明人
公开年 2013(7)
申请年 2012(3)  2011(2)  2013(2) 
专利权人

KIM T H, KIM Y K, KEE S B, KIM S K, IM C G, HO K T, GWON K Y, BEOM G S, GUK K S, GYU I C