国家/地区 美国(8)
IPC部 B(8)
IPC大类 B32(8)
IPC小类 B32B(8)
IPC C01B031/04(6) C01B031/02(5) C23C016/26(4)
B32B009/00(3) B44C001/22(3) B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3) H01L021/02(3) B05D005/12(2)
B32B003/10(2) C03C025/68(2) C23C016/56(2)
C23F001/00(2) C30B029/02(2) H01L021/20(2)
发明人
公开年 2010(4) 2009(3)
申请年 2009(8)
专利权人

KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J