国家/地区 世界知识产权组织(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 B32(7)
IPC小类 B32B(7)
IPC C23C016/26(6) C01B031/04(5) B32B009/00(4)
B32B018/00(3) C01B032/186(3) C01B032/182(2)
C01B032/184(2) C01B032/194(2) C23C016/00(2)
H01L021/683(2)
发明人
公开年 2016(7)
申请年 2015(5) 
专利权人