国家/地区 |
世界知识产权组织(7)![]() |
IPC部 |
B(7)![]() |
IPC大类 |
B32(7)![]() |
IPC小类 |
B32B(7)![]() |
IPC |
C23C016/26(6)
C01B031/04(5)
B32B009/00(4)
B32B018/00(3) C01B032/186(3) C01B032/182(2) C01B032/184(2) C01B032/194(2) C23C016/00(2) H01L021/683(2) |
发明人 | |
公开年 |
2016(7)![]() |
申请年 | 2015(5) |
专利权人 |
UEKUSA K, SHIMADA N, YAZAWA K, YAMADA T, HASEGAWA M, SHIMADA NAYUTA, YAZAWA KENJI, YAMADA TAKATOSHI, HASEGAWA MASATAKA, UEKUSA KAZUTERU
JOHNSON B Y, MAZUMDER P, SONI K K
TREOSSI E, SCIDA A, PALERMO V, KHAN M A, SCIDAE A
VISSER R J, JEONG S, DODABALAPUR A