国家/地区 世界知识产权组织(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B32(5)
IPC小类 B32B(5)
IPC B32B009/00(4) B32B038/10(3) C01B032/186(3)
C23C016/26(3) B32B009/04(2) B32B037/00(2)
C01B031/04(2) C01B032/182(2) C01B032/194(2)
H01L029/16(2)
发明人
公开年 2017(5)
申请年 2016(5) 
专利权人