国家/地区 美国(4) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 B82(4)
IPC小类 B82B(4)
IPC B82B003/00(3) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
C01B031/04(3) C23C016/26(3) B32B009/00(2)
B82B001/00(2) B82Y010/00(2) C01B031/02(2)
C01B032/182(2) C01B032/186(2) C30B025/18(2)
H01L021/02(2) H01L029/06(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2013(4)
申请年 2012(4)
专利权人