国家/地区 美国(5) 韩国(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 B(6)
IPC大类 B82(6)
IPC小类 B82B(6)
IPC B82B003/00(6) B82Y040/00(5) B82Y030/00(4)
B82B001/00(3) C01B031/02(3) C01B031/04(3)
H01L021/02(3) H01L029/16(3) B82Y010/00(2)
C01B032/184(2) C23C016/26(2) H01B001/04(2)
H01L021/336(2) H01L029/06(2) H01L029/786(2)
发明人
公开年 2012(6)
申请年 2012(6)
专利权人