国家/地区 德国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B82(4)
IPC小类 B82B(4)
IPC B82B003/00(4) B82Y040/00(3) H01L021/02(3)
B05D005/12(2) B82Y030/00(2) C01B031/02(2)
C01B031/04(2) C23C016/02(2) C23C016/30(2)
C23C016/56(2) H01B001/04(2) H01L021/28(2)
H01L029/16(2) H01L051/00(2)
发明人
公开年 2013(2)
申请年
专利权人