国家/地区 美国(10)
IPC部 B(10)
IPC大类 B82(10)
IPC小类 B82B(10)
IPC B82B003/00(10) C01B031/02(8) C01B031/04(7)
B82Y030/00(6) B82Y040/00(6) H01B001/04(5)
B32B009/00(4) B82B001/00(4) C01B031/00(3)
H01L029/786(3) B82Y099/00(2) C01B032/05(2)
C01B032/20(2) C23C016/26(2) H01L021/20(2)
发明人 CHOE P Y(2) CHOI B(2) CHOI B L(2)
HWANG T M(2) I E K(2) KIM B(2)
KIM B S(2) KIM H(2) KIM H K(2)
KIM P S(2) LEE E(2) LEE E K(2)
WHANG D(2) WHANG D M(2)
公开年 2011(8)
申请年 2010(10)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) UNIV SUNGKYU.(3)

HEO J S, SEO S, KIM D, WOO Y, CHUNG H, JEONG H J, KIM T C, SEO S A, U Y S, CHUNG H J, KIM D C, WOO Y S, HEO J