国家/地区 韩国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8) H01(7) B01(2)
B82(2)
IPC小类 C01B(8)
IPC C01B031/04(4) C01B031/02(3) C01B032/182(2)
C01B032/184(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人 CHOI C G(3) CHOI H K(3) CHOI J S(3)
YU Y J(3) CHUNG K H(2) KIM J T(2)
公开年 2016(2) 2018(2)
申请年 2014(3)  2017(2) 
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(8)