国家/地区 韩国(11)
IPC部 C(11) H(8) B(6)
G(2)
IPC大类 C01(11) H01(7) B82(4)
B01(2)
IPC小类 C01B(11)
IPC C01B031/04(6) C01B031/02(4) C01B032/182(3)
B82B003/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/184(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人 CHOI C G(4) CHOI J S(4) YU Y J(4)
CHOI H K(3) CHUNG K H(3) KIM J T(3)
KIM J Y(2) KIM T(2) SONG K(2)
YOUN D H(2) YU Y(2) YUN Y J(2)
公开年 2018(3) 2014(2) 2016(2)
申请年 2014(3)  2017(2) 
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(11)

KIM J Y, LEE J I, CHEON S H, CHO N S, CHO S, KIM Y H, KIM T, RYU H, AH C S, HWANG C, YEON K J, IK L J, HOON C S, SUNGCHO N, MOK C S, HAE K Y, YOUB K T, SEONG A C, SUN H C