国家/地区 韩国(8) 美国(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9) H01(4) B01(2)
B05(2)
IPC小类 C01B(9)
IPC C01B031/04(8) C01B032/184(2) H01L029/16(2)
发明人 KIM J H(2) LEE J K(2)
公开年 2017(9)
申请年 2016(5)  2015(4) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(9)