国家/地区 韩国(4)
IPC部 C(4) H(4)
IPC大类 C01(4) H01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/04(4) C01B031/02(2) H01L029/786(2)
发明人 SONG Y W(2)
公开年 2015(3)
申请年 2014(4)
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(4)