国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) H01(3) B32(2)
C08(2) C23(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B031/04(3) B32B009/00(2) C01B032/186(2)
C23C016/26(2) H01L021/28(2) H01L051/00(2)
H01L051/52(2)
发明人 CHO K(2) KIM H(2)
公开年 2012(2)
申请年
专利权人 POSTECH ACADIND FOUND(5)

HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H