国家/地区 日本(5) 美国(3)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5) H01(3) B01(2)
B82(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC B82Y040/00(2) C01B031/02(2) H01B001/04(2)
H01L029/06(2) H01L029/16(2) H01L029/786(2)
发明人 OKAI M(5)
公开年 2010(2)
申请年 2010(2) 
专利权人 HITACHI LTD(3) HIROOKA M(2) HITACHI CHEM.(2) OKAI M(2)