国家/地区 | 日本(5) 美国(3) |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)
H01(3)
B01(2)
B82(2) |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
B82Y040/00(2)
C01B031/02(2)
H01B001/04(2)
H01L029/06(2) H01L029/16(2) H01L029/786(2) |
发明人 |
OKAI M(5)![]() |
公开年 | 2010(2) |
申请年 | 2010(2) |
专利权人 |
HITACHI LTD(3)
HIROOKA M(2)
HITACHI CHEM.(2)
OKAI M(2)
|
MAKOTO O, YOSHIAKI K, OKAI M, KURIHARA Y
OKAI M, HIROOKA M, WADA Y, IWAI Y, HONMA S, ASHIGAHARA T, TAKAYUKI A, YOSHIAKI I, SHUNICHI H, HIROKA M, HOMMA S