国家/地区 中国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B82(4) C01(4) H01(4)
C23(2) H02(2)
IPC小类 B82Y(4)
IPC B82Y030/00(4) B82Y040/00(4) C01B032/182(4)
C01B032/186(4) H01L029/16(3) C01B032/194(2)
C23C016/26(2) C23C016/56(2) H02N002/18(2)
发明人 THOMAS S(4)
公开年 2021(2)
申请年 2020(2) 
专利权人 PARAGRAF LTD(3)