国家/地区 美国(26) 中国(15) 世界知识产权组织(14) 日本(11) 欧洲专利局(EPO)(9) 韩国(8) 台湾(4) 加拿大(3) 澳大利亚(2) 香港(2) 以色列(2) 印度(2) 墨西哥(2) 俄罗斯(2) 新加坡(2) 南非(2)
IPC部 B(28)
IPC大类 C01(28) B82(27) H01(13)
B01(9) B32(9) C09(4)
B05(3) C07(2) C22(2)
C23(2) F16(2) H05(2)
IPC小类 C01B(28)
IPC C01B031/00(28)
发明人 HIROHASHI T(2)
公开年 2012(28)
申请年 2011(14)  2012(11)  2010(3) 
专利权人 KOREA INST S.(2) SAMSUNG ELEC.(2) SEMICONDUCTO.(2)