国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) B82(4) C23(4)
B32(2) C09(2) H01(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B032/16(5)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2)
公开年 2015(3) 2016(2)
申请年 2014(5)
专利权人 AIXTRON SE(2)