国家/地区 美国(7) 日本(5) 世界知识产权组织(5) 中国(4) 韩国(3) 台湾(3)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7) B82(6) H01(6)
B32(3) B01(2) C30(2)
IPC小类 C01B(7)
IPC C01B031/04(7)
发明人 KOKUNI T(2) NAGATA T(2) OGUNI T(2)
OSADA T(2) TODORIKI H(2) TODOROKI H(2)
公开年 2013(3) 2012(2) 2014(2)
申请年 2012(7)
专利权人 SEMICONDUCTO.(3)