国家/地区 美国(7) 中国(6) 日本(6) 世界知识产权组织(6) 韩国(5) 台湾(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7) B82(6) H01(4)
B01(3) C08(2) C09(2)
IPC小类 C01B(7)
IPC C01B031/02(7)
发明人 NOMOTO K(2) TODORIKI H(2) TODOROKI H(2)
YUGAWA M(2) YUKAWA M(2)
公开年 2012(3) 2013(3)
申请年 2012(7)
专利权人 SEMICONDUCTO.(3)

YOO H, KIM J, JUNG Y, YOO H J, KIM J K, JUNG Y G, KIM J S, LIU H