国家/地区 美国(8) 中国(7) 印度(6) 世界知识产权组织(6)
IPC部 C(23)
IPC大类 C01(23) H01(9) B82(5)
B01(3) C08(3)
IPC小类 C01B(23)
IPC C01B032/23(23)
发明人 CAO M(2) GAO C(2) LIU Y(2)
OGUNI T(2) XU Z(2) YAMAKAJI M(2)
公开年 2021(13) 2022(7) 2023(3)
申请年 2021(23)
专利权人 SEMICONDUCTO.(3) UNIV ZHEJIAN.(2)