国家/地区 美国(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C014/02(6)
发明人
公开年 2013(2)
申请年 2011(3) 
专利权人

HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H

BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J