| 国家/地区 | 中国(3) 韩国(2) 台湾(2) |
| IPC部 |
C(6)
B(4)
H(2)
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| IPC大类 |
C01(6)
C23(6)
H01(2)
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| IPC小类 |
C01B(6)
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| IPC |
C23C014/06(6)
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| 发明人 | XU S(2) |
| 公开年 |
2021(6)
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| 申请年 | 2020(3) 2021(2) |
| 专利权人 |
BURGGRAF J, JUERGEN B
