国家/地区 美国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) C23(5) H01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/02(5)
发明人 NARKEVICIUTE I(2) VARADARAJAN B N(2)
公开年 2021(5)
申请年 2021(4) 
专利权人 LAM RES CORP(2)