国家/地区 | 美国(7) 世界知识产权组织(4) 加拿大(3) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 韩国(3) 澳大利亚(2) |
IPC部 |
B(7)![]() |
IPC大类 |
C01(7)![]() |
IPC小类 |
C01B(7)![]() |
IPC |
C23C016/04(7)![]() |
发明人 | NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3) |
公开年 |
2021(7)![]() |
申请年 | 2020(5) 2021(2) |
专利权人 | QUANTUM ELEM.(4) |
PEPIN P, ETHRIDGE K, THOMSON C, HOLBROOK B, ESRIDGE K
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L