国家/地区 美国(7) 世界知识产权组织(4) 加拿大(3) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 韩国(3) 澳大利亚(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/04(7)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3)
公开年 2021(7)
申请年 2020(5)  2021(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4)