国家/地区 | 美国(6) 中国(4) 世界知识产权组织(4) 韩国(3) 日本(2) |
IPC部 |
B(8)![]() |
IPC大类 |
C01(8)![]() |
IPC小类 |
C01B(8)![]() |
IPC |
C23C016/26(8)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(4) |
申请年 | 2012(2) 2013(2) |
专利权人 |
GHAI V, CHAWLA S, AGNIHOTRI P K
PARK J, SIM Y, KIM J, SIM Y M, PARKJAEHYUN
UEKUSA K, SHIMADA N, YAZAWA K, YAMADA T, HASEGAWA M, SHIMADA NAYUTA, YAZAWA KENJI, YAMADA TAKATOSHI, HASEGAWA MASATAKA, UEKUSA KAZUTERU
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
LI G, WANG Y, LEE K
KIM T H, KIM Y K, KEE S B, KIM S K, IM C G, HO K T, GWON K Y, BEOM G S, GUK K S, GYU I C
NAITO K, YOSHINAGA N, NAKANO Y, AKASAKA Y, MATAKE S, AKITA M, MATEKE S