国家/地区 韩国(4) 加拿大(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 澳大利亚(2) 中国(2) 新加坡(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 B01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C23C016/26(4)
发明人 BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2) SINTON S W(2)
SWETT J L(2)
公开年 2017(4)
申请年 2016(4) 
专利权人 LOCKHEED MAR.(2)