国家/地区 | 美国(7) 世界知识产权组织(5) 中国(4) 日本(2) 韩国(2) |
IPC部 |
B(8)![]() |
IPC大类 |
B32(8)![]() |
IPC小类 |
B32B(8)![]() |
IPC |
C23C016/26(8)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(4) 2016(2) |
申请年 | 2013(3) 2012(2) 2015(2) |
专利权人 |
UEKUSA K, SHIMADA N, YAZAWA K, YAMADA T, HASEGAWA M, SHIMADA NAYUTA, YAZAWA KENJI, YAMADA TAKATOSHI, HASEGAWA MASATAKA, UEKUSA KAZUTERU
SHIN H, CHOI J, HAN G, LEE Y
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
LI G, WANG Y, LEE K
KIM T H, KIM Y K, KEE S B, KIM S K, IM C G, HO K T, GWON K Y, BEOM G S, GUK K S, GYU I C
NAITO K, YOSHINAGA N, NAKANO Y, AKASAKA Y, MATAKE S, AKITA M, MATEKE S