国家/地区 |
韩国(8)![]() |
IPC部 |
B(8)![]() |
IPC大类 |
C01(8)
C23(8)
B01(3)
B32(3) H01(3) C08(2) |
IPC小类 |
C01B(8)![]() |
IPC |
C23C016/26(8)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(8)![]() |
申请年 | 2020(6) |
专利权人 |
BURGGRAF J, JUERGEN B
AGRAWAL K V, HUANG S, HSU K, AGRAWAL K, HWANG S, HUSH K, XU G
GU T J, JANG W, SEO Y, WHANG D, WHANG D M, SEO Y M, JANG W S
HAVERMANS D, SALLARD S, SHAFIQUE A, VANGENEUGDEN D, VANHULSEL A, HARDY A, SALAH S, SHAFIK A, VAN GENUGDEN D, HARDY N
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H