国家/地区 美国(18)
IPC部 B(18)
IPC大类 C01(18) C23(18) H01(13)
B32(7) B82(7) B01(6)
C09(3) C30(3) B05(2)
C25(2) G01(2)
IPC小类 C01B(18)
IPC C23C016/26(18)
发明人
公开年 2016(18)
申请年 2015(9)  2016(6)  2014(3) 
专利权人