国家/地区 美国(5) 日本(4) 韩国(4) 中国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC G06F003/044(5)
发明人
公开年 2012(2)
申请年 2012(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)