国家/地区 美国(7)
IPC部 C(7) G(7) H(6)
B(3)
IPC大类 C01(7) G06(7) H01(5)
H05(4) B29(2) B32(2)
B82(2) G02(2)
IPC小类 C01B(7)
IPC G06F003/044(7)
发明人
公开年 2016(3) 2012(2)
申请年 2012(2)  2014(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)