国家/地区 日本(3) 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 B82(6) C01(6) H01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC H01J001/304(6)
发明人
公开年
申请年 2002(2) 
专利权人