国家/地区 韩国(6) 美国(3)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6) B01(5) H01(3)
B82(2) C23(2)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B031/02(4) C01B031/04(3) H01L021/02(3)
H01L029/16(3) B01J019/08(2) B01J019/18(2)
B82Y040/00(2) H01L029/786(2) H01L051/52(2)
发明人 PARK C H(6)
公开年 2015(3) 2017(2)
申请年 2014(2)  2016(2) 
专利权人 HANWHA TECHW.(6) HANWHA AEROS.(3)