国家/地区 欧洲专利局(EPO)(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5) C23(5) B32(3)
B82(3) H01(3) G01(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年 2016(5)
申请年 2014(2)  2015(2) 
专利权人