国家/地区 美国(5) 中国(3) 加拿大(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/44(6)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3)
公开年 2021(6)
申请年 2020(4)  2021(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4)